(第38回)


          9-7.コート工程

   

        コートの目的

   反射防止、反射増加、光の分割・合成、光量の制御
   表面保護、など

   A:基板ドーム。蒸着物が均等につくようカサは曲率
   がついている

   B:シャッター。開閉により所定の膜厚に制御する。

   装置内を真空ポンプで10-6Torrにしてコート材料を
   加熱、溶解し蒸発させレンズの上に蒸着させる。
   また、蒸発しにくい物質は電子銃を使用し電子ビー
   ムで効率よく加熱蒸着させる。
   蒸着薄膜の厚さは、1層≒0.0001mm

  次回は、接合工程です。  


 更新9月上旬の予定です。
第1〜25回の話も読みたい方、ご質問等は
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 第1回 歴史、光の反射
 第2回 光の屈折
 第3回 光のスペクトル、光の色、物体の色
 第4回 光の干渉、回折、偏光
 第5回 単レンズの概要
 第6回 顕微鏡の光学系
 第7回 望遠レンズ、テレコンバータ
 第8回 写真レンズ
 第9回 レーザ光学系
 第10〜12回 プリズム
 第13回 回折格子
 第14回 位相板
 第15〜16回 収差
 第17〜18回 各種単レンズ
 第19〜21回 反射鏡系
 第22回 分解能について
 第23回 ファイバースコープ
 第24回 縮小投影露光装置:ステッパ(逐次移動式露光方式)
 第25回 光ピックアップ
 第26回 レーザプリンタ
 第27回 液晶プロジェクター
 第28回 レーザー加工装置
 第29回 加工用レーザの種類と特徴
 第30回 赤外線光学系
 第31回 赤外線光学系
 第32回 荒摺り工程
 第33回 研削工程
 第34回 研磨工程

 第35回 洗浄工程
 第36回 芯取工程
 第37回 検査工程