Panasonic UA3P-5
品番 PED-16109305
測定範囲 [ X,Y,Z軸 ] 200×200×45mm
スケール He-Ne発振周波数安定化レーザ
プローブ 原子力プローブ
ルビー:先端曲率半径 0.5mm(測定圧 30mg)
ダイヤ:先端曲率半径  2μm(測定圧 30mg)
測定最大角度 60度
プローブによる測定精度
ルビー:測定面傾き角 30度以下:0.01〜0.05μm
45度以下:  〜0.1μm
60度以下:  〜0.3μm
ダイヤ:測定面傾き角 30度以下:  〜0.1μm
Z軸分解能:3nm
座軸による測定誤差
(XY軸測定範囲)
100mm以下:0.05μm以内(再現精度0.05μm以内)
200mm以下:0.1μm以内 (再現精度0.05μm以内)
400mm以下:0.2μm以内 (再現精度0.05μm以内)
測定速度 0.01〜10mm/s  多段階可変設定
主な用途
 ・レンズのRを測定する装置です。
特徴
 10nmの誤差で200mm四方と広い領域を
 測定でき、Windows対応で操作は簡単。
 加工へのフィードバックもスピィーディ。
 精密品の精度アップに貢献します

測定原理などはこちら



ZYGO New View 5032
対物レンズ 1×、2.5×、5×、10×、20×、50×、100×
LWD2×、LWD5×、LWD10×
対物レンズタレット マニュアルまたはモータ駆動の5点タレット
使用可能
イメージズーム 0.4×、0.5×、0.8×、1.0×、1.3×、2.0×
垂直操作速度 320×240 、 120Hz : 9.7μm/s
640×480 、 20Hz : 1.2V/s
640×200 、 130Hz : 10.5μm/s
最大測定領域 14.0mm×10.6mm
(1倍対物レンズ+0.5倍ズーム)
垂直分解能 0.1nm
段差測定再現性 0.1%以下(1σ)
段差測定正確性 0.75%未満
・主な用途
レンズ表面の粗さを測定する装置です。

製品の概要はこちら


3平面測定の再現性 λ/300
主な用途
 ・レンズの荒さを測定する装置です。
特徴
・最高0.01μnmの超高精度を実現
・Windows対応で操作は簡単。加工
  へのフィードバックもスピィーディ。
  精密品の精度アップに貢献します。
測定再現性 λ/100PV以下(2σ)
λ/10000rms以下(2σ)
データポイント 640×480ピクセル
分解能 λ/8000
データ収集時間 100ms通常分解能モード
200ms高分解能モード
ズーム範囲 6:1
焦点範囲 -800mm〜+1200mm
光軸高さ 4.25インチ(108mm)
アライメント クイック 
フリンジ収集システム(QFAS)
アライメント視野角 ±3度


Topcon TMM-130D TMM-100D



X軸 ・Y軸
最小表示
精   度
130×130mm
0.001m
(3+2.5L/100)μm
100×50mm
0.01mm
(3+2.5L/100)μm
角度 回転テーブル360°
スイベル角ステージ3°
回転テーブル360°

Vision ケストレル
特徴 高精度、低価格
2次元(X・Y)測定
ステージ最大ストローク、150o×100o
最大倍率50倍
多機能のデータ処理装置
デジタルカメラ、CCDカメラの装着が可能

ケストレルは最新のダイナスコピック光学技術を採用した2次元測定システムで
高精度な測定を簡単な操作で行うことができる、製造現場に最適な測定システムです。

新開発のレンズの採用により、明瞭な像を得ることができ、コントラストの低い測定物のエッジ検出も問題ありません。倍率は10×、20×、50×(20×が標準)で、対物レンズの交換も簡単に行えます。

3プレート構造の測定ステージは、ストロークが150o×100o、指示精度0.001o/10o、繰り返し精度0.004oで、高精度かつ迅速な測定が可能です。ステージの固定は微調整の可能なジンバルマウントを採用しています。

測定ステージの校正は非直線誤差補正(N.L.E.C.)を採用し、NPL(英国立物理研究所)/NAMASのスタンダードで校正され、ISO9000のトレーサビリティーを確立しています。

ケストレルには、使い易いQC200カウンタ/データ処理装置が標準装備されています。測定結果はパラレルプリンターポート経由でプリントする事ができます。またデジタルカメラやccdカメラを装着しイメージデータを記録する事が出来ます。


型式 キーエンス VM-8040
測定エリア φ40mm
測定精度 ±5μm
繰り返し精度 1μm
表示分解能 1μm
最小検出体 0.3mm
Z軸ステージ移動範囲 20mm
測定時間 約1秒
測定用光源 グリーンLED 透過照明
撮像素子 130万画素CCD
・主な用途
・寸法を測定する装置です。